ส่วนต่อประสานระหว่างซิลิคอนกับซิลิกา ผงซิลิกอนที่มีความบริสุทธิ์สูงมีคุณสมบัติในการประสานที่ดี เมื่อเปรียบเทียบกับส่วนต่อประสานของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ ที่สอดคล้องกับชั้นออกไซด์ ส่วนต่อประสานระหว่างซิลิคอนและซิลิคอนไดออกไซด์นั้นสมบูรณ์แบบ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยี การควบคุมข้อบกพร่องของอินเทอร์เฟซเริ่มดีขึ้นเรื่อยๆ ตัวอย่างเช่น หลังจากการปรับปรุงห้องคลีนรูม ผลกระทบของข้อบกพร่องมีน้อยมาก ในเวลาเดียวกัน เมื่อฉีดสิ่งเจือปน ซิลิคอนไดออกไซด์สามารถทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกัน ปิดกั้นสิ่งเจือปน เช่น ฟอสฟอรัสและโบรอนได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ประการที่สองคือผงซิลิกอนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นวัสดุฉนวนที่มีความเสถียรมาก (ช่องว่างพลังงานประมาณ 9ev ฉันไม่รู้ว่าฉันจำถูกต้องหรือไม่) ในขณะที่เจอร์เมเนียมไดออกไซด์ไม่เพียงไม่เสถียรที่อุณหภูมิสูงเท่านั้น แต่ยังละลายได้ใน น้ำ. ซิลิคอนไดออกไซด์ไม่มีปัญหาดังกล่าวเลย ช่องว่างพลังงานขนาดใหญ่ของซิลิคอนไดออกไซด์จะทำให้กระแสรั่วไหลน้อยลง (แน่นอน ถ้าชั้นออกไซด์บางเกินไป กระแสรั่วไหลก็จะเพิ่มขึ้น)

เมื่อเปรียบเทียบกับเจอร์เมเนียม ผงซิลิกอนที่มีความบริสุทธิ์สูงมีช่องว่างพลังงานมากกว่า จึงสามารถทนต่ออุณหภูมิในการทำงานที่สูงขึ้นและช่วงการเติมสารเจือปนที่กว้างขึ้น แรงดันพังทลายของวัสดุซิลิกอนก็จะสูงขึ้นเช่นกัน ในอดีตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมดทำจากเจอร์เมเนียม เทคโนโลยีเติบโตเต็มที่และความเร็วในการตอบสนองการสลับเร็วขึ้น อย่างไรก็ตามสิ่งนี้ต้องใช้ต้นทุนสูง นายทุนเลือกซิลิคอน นักวิทยาศาสตร์จำนวนมากจึงเริ่มคิดค้นซิลิคอนขึ้นมา แน่นอนว่าสิ่งนี้เกี่ยวข้องกับคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมหลายประการของซิลิคอนเอง เช่น ปริมาณสำรองขนาดใหญ่และประสิทธิภาพที่มั่นคง ข้อดีอีกประการหนึ่งคือซิลิกาเป็นฉนวนตามธรรมชาติและสามารถนำมาใช้โดยตรงเป็นชั้นระหว่างชั้นหลังการบำบัดความร้อน

ผงซิลิกอนความบริสุทธิ์สูงที่มีปริมาณซิลิกอน 99% (2N), 99.9% (3N), 99.99% (4N) และมีออกซิเจน คาร์บอน ฟอสฟอรัส ซัลเฟอร์ และโลหะเจือปนต่ำมาก ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการทางอุตสาหกรรมที่มีปริมาณสูง ข้อกำหนดสิ่งเจือปน ความต้องการเติมเต็มช่องว่างในด้านผงซิลิกอนอุตสาหกรรมที่มีความบริสุทธิ์สูงในประเทศ โลหะผสมอลูมิเนียม โลหะผสมไทเทเนียม โลหะผสมทองแดง ซิลิคอนไนไตรด์ประสิทธิภาพสูง และคาร์บอน...





